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HORIBA堀場雙通道高精度 HF 濃度計
產品型號：HF-SP-CU
產品品牌：HORIBA堀場濃度計
產品介紹：

HORIBA堀場可準確測量 TMAH（四甲基氫氧化銨）的濃度。TMAH 是半導體制程中光刻膠顯影液的主要成分。重復性： +/- 0.003% 內。測量范圍：0 - 3 %。配備耐化學腐蝕的碳傳感器。
詳細介紹
HORIBA堀場可準確測量 TMAH（四甲基氫氧化銨）的濃度。TMAH 是半導體制程中光刻膠顯影液的主要成分。重復性： +/- 0.003% 內。測量范圍：0 - 3 %。配備耐化學腐蝕的碳傳感器。


    • Model name HE-960H-TM-S
      Target of measurement TMAH
      Measurement range Concentration: 0 - 3%, Conductivity: 0 - 1000mS/cm
      Repeatability Within +/- 0.003wt% (Temperature variation less than +/- 0.5℃, using equivalent input for conductivity)
      Linearity Within +/- 0.003wt% (Using equivalent input for conductivity)
      Transmission output Number of output: 4
      Contact output Outputs: 5 points
      Communication output RS-485
      Power supply 24V DC +/- 10% 10W
      Compatible sensor FES-510 Series
      Wetted material of sensor GC, PFA, Karletz®


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