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HORIBA堀場(chǎng)濃度計(jì)低濃度型
產(chǎn)品型號(hào):HF-960H半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品品牌:HORIBA堀場(chǎng)濃度計(jì)
產(chǎn)品介紹:

HORIBA堀場(chǎng)準(zhǔn)確測(cè)量半導(dǎo)體制造和其他工藝中使用的 HF 和 HCl 濃度。專用的 FES-510 系列傳感器具有很強(qiáng)的耐化學(xué)性,使該濃度計(jì)成為管理 HF 和 HCl 的理想選擇。測(cè)量范圍:0 -10%。。

詳細(xì)介紹
HORIBA堀場(chǎng)HF-960M 采用的傳感器具有出色的耐腐蝕性,可對(duì)低濃度的氟化氫、氯化氫和氨氣進(jìn)行高精度、高速測(cè)量,因此是單槽清洗和晶圓清洗的理想選擇。HF-960M 也是一款環(huán)保產(chǎn)品,使用無鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板。


    • 測(cè)量范圍:0 - 10 %
    • 自動(dòng)顯示測(cè)量范圍切換
    • 支持四種測(cè)量模式:HF 濃度、HCl 濃度、電導(dǎo)率和溫度
    • 24V 直流電源
    • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

  • Model HF-960H
    Measurement range HF: 0 - 10%, HCl: 0 - 10%, Conductivity: 0 - 1000mS/cm
    Power supply 24 V DC ±10%, 10 W (max.)
    Protective structure Panel: IP65, Rear case: IP20, Terminal: IP00 (indoor-use panel installation type)
    Mass Approx. 550 g
    Conforming standards CE marking, FCC Part 15
    Compatible sensors FES-510 Series (flow-type carbon sensor)
    scrollable

    Schematics


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