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HORIBA堀場濃度計半導體
產品型號:濕法過程控制CS-152F1
產品品牌:HORIBA堀場濃度計
產品介紹:

HORIBA堀場CS-100 系列為半導體制程各種清洗和刻蝕工藝的藥液提供完整的、高精度的化學藥液濃度計。除高速響應和緊湊設計等特點外,濃度計還可實時測量每種組分的濃度,通過報警提醒化學藥液變化和自動供應的時間。具備執行短周期測量的能力,可準確檢測濃度變化。

詳細介紹
HORIBA堀場CS-100 系列為半導體制程各種清洗和刻蝕工藝的藥液提供完整的、高精度的化學藥液濃度計。除高速響應和緊湊設計等特點外,濃度計還可實時測量每種組分的濃度,通過報警提醒化學藥液變化和自動供應的時間。具備執行短周期測量的能力,可準確檢測濃度變化。
Model CS-151F1 CS-152F1 CS-150F1
Target of
measurement
SC-1
(ammonia/hydrogen peroxide
aqueous solution)
SC-2
(hydrochloric acid/hydrogen
peroxide aqueous solution)
SPM
(sulfuric acid/hydrogen
peroxide aqueous solution)
Multi-monitoring with one unit of up to 4 types of chemical solutions or ranges possible.
Measurement principle Absorption spectrometry
Concentration computation
principle
Temperature-compensated multivariate analysis
Measurement range
(mass %)
NH3: 0.00% to 1.00%
H2O2: 0.00% to 5.00%
H2O: 94.0% to 100.0%
HCI: 0.00% to 2.00%
H2O2: 0.00% to 2.00%
H2O: 96.0% to 100.0%
H2SO4: 70.0% to 96.0%
H2O2: 0.00% to 10.00%
H2O: 4.0% to 30.0%
Repeatability (mass %)
(within ±1% room temperature)
NH3: ±0.15%
H2O2: ±0.30%
H2O: ±1.5%
HCI: ±0.15%
H2O2: ±0.15 %
H2O: ±1.5%
H2SO4: ±0.50%
H2O2: ±0.50%
H2O: ±1.5%
?Repeatability for the list above is for the cell unit type.Please contact us for the repeatability of the in-line cell type.
?Differences in the above list may occur depending on measurement range.(Please see our website for details.)
Sample solution temperature 20 to 80: (when using Inline cell) 20 to 30: (when using cell unit)
Measurement cycle Approx. 3 seconds
Content of
LCD and input
? 1st component: measured concentration value (%)?? ?Error code
? 2nd component: measured concentration value (%)???Parallel concentration alarm output invalid status
? 3rd component: measured concentration value (%)???Serial/parallel status
? 1st and 2nd components: concentration alarm status??Background compensation data
RS-232C serial input ? Serial/parallel status switching?? ??????????Parallel concentration alarm output status
? Measurement data transfer request?????????(valid/invalid)
? 1st and 2nd component concentration alarm setting???Target measurement solution switching
Parallel input 12 to 30 V DC (photocoupler insulated)????????? Parallel concentration alarm output
? Target measurement solution switching
? Background compensation
Parallel output Open collector output (photocoupler insulated)?????? 1st component concentration alarm, 4 types
Max. current when on:???????????????? ? 2nd component concentration alarm, 4 types
 DC 5 mA (no internal protection resistor)?????   ? Device error
Max. impressed voltage when off: 30 V DC?????? ? Measuring
 ? Target measurement solution type
 ? Background compensation status
Solution temperature input Terminal block connection (M3 terminal screws)
? Platinum resistance temperature sensor: Pt100 (Pt100 sensor should be prepared by customers)
Analog output ? 1st component concentration alarm, 4 types: 4 to 20 mA
? 2nd component concentration alarm, 4 types: 4 to 20 mA
?We also support other measurement ranges. Please specify when ordering.
Fiber optic cable Dedicated CS-100F1 Series fiber optic cable (25 ±15: installation temperature)
Sample cell We can supply dedicated sample cells (inline cell or cell unit) for various kinds of chemical solutions.
Power supply 100 V to 230 V AC (single phase) ±10%, 50/60 Hz, approx. 100 VA
Dimensions 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm 8.1 (W) x 13.0 (D) x 10.6 (H) in (excluding protruding part)
Weight Approx. 11 kg
scrollable

Note: Please consult us regarding concentration monitors for chemical solutions other than those given above.

Schematics

Concentration monitor

Inline cell                                                                                     Cell unit

              


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