ppm 級的低濃度成分*2在化學溶液中無需任何預處理即可檢測到。只需在制造現場安裝一體化系統，整合在一個獨立的機柜中即可開始使用*3.
*1 “Back End of Line”的縮寫，指半導體前端工藝中的布線形成過程。 *2 ppm = 百萬分之一。對于液體成分，1 ppm 意味著 1 升液體中存在 1 毫克成分。 *3 SEMI S2認證。