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產(chǎn)品類目

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DNK大日本科研近接曝光裝置

產(chǎn)品型號(hào)：MA-5111ML

產(chǎn)品品牌：DNK大日本科研

產(chǎn)品介紹：

大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名稱為株式會(huì)社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是關(guān)于該公司的詳細(xì)介紹：

詳細(xì)介紹

裝載有邊緣傳感器和間隙傳感器的非接觸式近接曝光裝置。*適合觸摸屏及有機(jī)EL等的量產(chǎn)。

主要特長(zhǎng)

能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對(duì)位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。
利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙。
可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺(tái)溫度調(diào)控系統(tǒng)。
可選擇配置基板臺(tái)溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(選購(gòu)項(xiàng))
能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫(kù)

主要規(guī)格

		MA-5501ML	MA-5701ML	MA-5111ML
基板尺寸		370 x 470mm	550 x 650mm	730 x 920mm
對(duì)位		非接觸預(yù)對(duì)位～自動(dòng)對(duì)位
間隙		擁有傳感性能
光源		超高壓水銀燈：2kW or 3.5kW or 5kW	超高壓水銀燈：10kW	超高壓水銀燈：18kW
外觀尺寸及重量	本體尺寸	W2400 x D2480 x H2290mm (另有控制箱、局部空調(diào)、冷水機(jī))	W3600 x D3870 x H2500mm (另有控制箱、局部空調(diào)、冷水機(jī))	W7450 x D5000 x H3600mm (另有控制箱、局部空調(diào)、冷水機(jī))
	本體重量	1500kg	1900kg	2000kg
	光源重量	500kg	1100kg	3500kg
	無(wú)塵機(jī)房重量	250kg	300kg
選購(gòu)項(xiàng)		掩膜冷卻、基板臺(tái)溫度調(diào)節(jié)、溫控機(jī)房、特殊對(duì)位照明
用途		觸摸屏、彩色濾光片、有機(jī)EL、C－STN、電子紙等

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽

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裝載有邊緣傳感器和間隙傳感器的非接觸式近接曝光裝置。*適合觸摸屏及有機(jī)EL等的量產(chǎn)。

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