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DNK大日本科研
大日本科研（DNK）wafer尺寸300爆光燈房
產品型號：MA-5301ML
產品品牌：DNK大日本科研
產品介紹：
大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名稱為株式會社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是關于該公司的詳細介紹：
詳細介紹
大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名稱為株式會社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是關于該公司的詳細介紹：
主要特長
搭載本公司**的鏡面光學系統爆光燈房（LAMP HOUSE）。從而實現了照射面內的均勻性以及高照度。
采用本公司**的同軸對位方式和高速圖像處理技術, 從而實現了高精度對位。還支持IR方式和背面方式。
通過本公司**的光學式間隙傳感器，可在非接觸狀態下高速、**的設定掩膜和基板間的近接間隙。
搭載有掩膜更換機。*多可自動更換20張掩膜。
*多可搭載3臺片倉（Load port）。
主要規格
MA-5301ML
Wafer尺寸
?300ｍｍ
對位
非接觸預對位～自動對位
光源
超高壓水銀燈：3.5kW
本體尺寸
W 2450 × D 2400 × H 2300 mm
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版權所有
蘇ICP備2023042339號-1
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