DSF-L800
高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形狀?粗さ測定機です。
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変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形狀”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能。
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より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接觸點フィルタを標準裝備。
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検出器過負荷停止機能標準裝備。
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Z分解能/測定範囲
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0.75nm / ±6mm
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Z検出方式
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半導體レーザスケール
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觸針
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R2μm 0.7mN
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解析項目
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形狀解析（要素、スカラ量、統計量、マスタ比較、公差判定）
表面粗さ（JIS、ISO、DIN、ANSI、BS）
表面うねり（JIS）
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株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本一家發表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。
設備特點：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計，粗度儀
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機
KOSAKA小壇輪廓儀
KOSAKA小坂臺階儀，膜厚儀，薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測量儀配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置
KOSAKA小坂微細深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置
KOSAKA小坂關節管測量儀
KOSAKA小坂探針卡檢測設備
KOSAKA小坂高精度貼片機
KOSAKA小坂傳感器
表面粗度測定機:
SE300,SE500,SE600,SE610,SE600K,SE600K31
SE700.SE4000.
表面粗度,輪廓形狀測定機:
SEF580-G18,SEF580--G18D,SEF580-M50,SEF580-M58,SEF580-M58D.SEF680.SEF680K
細微形狀測走機:
ET200,ET4000,ET10000
表面形狀,粗度測定機:
DSF600.DSF900.
輪廓形狀測定機:
EF550-G18,EF550-G18D,EF550-M50,EF550-M58,EF550-M58D,EF650,EF650D,REF100
真圓度,圓頭形狀測定機:
EC600,EC1550H,EC1650H,EC1850H,EC2150,EC2500H,EC2700H,EC2500HF,EC2700
EC3300PEC3600A,EC3600B,EC3600CEC4100H，EC5100H,EC6100