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日本KOSAKA小坂半導體設備
產(chǎn)品型號:半導體行業(yè)EC1650H圓度和圓柱形測量儀器惠州
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學技術被信賴的“技術”為口號,開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導體制造相關裝置、自動包裝機等自動設備三個領域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計,粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設備

KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


合理的EC1650H充滿匠心,實現(xiàn)“高精度、快速”的測量


  • 高分辨率
  • 濾波器有 2CR 正常、2CR 和 Gausshan 相位補償類型
機制和方法 多孔靜壓空氣軸承,工作臺旋轉
旋轉精度 (0.02+0.0004H)μm
H: 距工作臺表面的高度 (mm)
*大測量直徑 內外徑 φ368mm
垂直移動量 300 毫米(帶 B 型觸控筆臂)


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