特長

• 10^-11Pa臺の圧力測定が可能
• 軟X線やESDイオン等の殘留電流の低減が可能
• 1×10^-2～0.5×10^-10Paの広い圧力範囲
• 圧力は0～10Vの疑似Log出力 / 各桁內1Vリニア出力の標準裝備
• セットポイント2點の出力可能
• BCD/RS232Cが可能(オプション)

用途

• 高エネルギー加速器などの真空裝置の圧力測定に
• 超高、極高真空裝置の圧力測定に

仕様

型式	ISX2
測定圧力範囲	5×10-11～1×10-2 Pa
測定分解能	0.5×10-10 Pa
表示	デジタル表示　仮數部3桁　指數部2桁
DEGAS	電子衝撃脫離方式
測定値出力	各桁仮數部リニア出力：各DC0～10V
	疑似Log出力：DC0～10V 各桁內１Vのリニア出力
セットポイント	2點
使用溫度範囲	10～40℃
使用濕度範囲	15～80％（ただし結露なきこと）
電源電圧	AC85～240V
外形寸法　W×D×H	240mm×350mm×99mm
質量	5.3kg
付屬品	AC100V用（アース付3Pプラグ）電源コード、取扱説明書
オプション	測定子：X-11
	センサケーブル：5、10、20m
	BCD出力、RS232C/RS485

測定子型式	X-11
エネルギーフィルタ	Bessel-Box型
フィラメント	Ir?Y2O3／2本
取付フランジ	UFC-070
ベーキング可能溫度	*高300℃（ケーブル取り外し時）