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浙江總代ULVAC愛發科皮拉尼真空計SP1

產品型號： SP1

產品品牌：ULVAC愛發科

產品介紹：

ULVAC愛發科面向顯示器、太陽電池、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化學、食品、醫藥等行業以及大學、研究所等，提供真空設備、周邊機器、真空部品、材料的開發、制造、銷售、客戶服務等，以及各種器械的進出口業務。此外，提供各種真空技術相關的研究指導和技術顧問服務。

詳細介紹

華東供應國內總代日本浙江總代ULVAC愛發科皮拉尼真空計SP1 國內各區域均有售

真空計

ULVAC真空計是基于在真空領域的豐富技術和經驗而開發的。從皮拉尼真空計到電離真空計，再到極高真空計，從大氣壓到極高真空計（10^-12我們擁有適用于PA所有領域、條件和應用的真空計產品陣容。

傳感器單元（SP1）是G-TRAN系列的皮拉尼真空計型測量單元。
傳感器單元具有測量元件和電路集成在一起的結構（測量元件可以更換），使其成為適合降低成本和節省空間的真空計。

長處

傳感器規格：當不需要壓力指示器時，降低了真空計的成本，減少了控制面板周圍的
空間，
減少了

布線。
易于更換測量元件
燈絲材料為鉑金，具有很強的耐腐蝕性。
到目前為止，您一直在使用的測量元件（SP1：WP-01、02、03、16）可以按原樣使用。
能夠輸出 2 個設定值
SP1：壓力為0~5V輸出（非線性輸出）
電源電壓：可采用24V直流輸入

用

用于半導體和電子元件等各種制造設備的低真空范圍的過程控制
用于熔爐和其他工業設備的低真空范圍的過程控制
用于具有許多工藝室的各種制造設備的低真空范圍的工藝控制，例如在線和單晶圓

類型	傳感器單元
型	SP1系列
自適應測量元件	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
測量精度	±15 %（51 Pa ~760 Pa）
	±30 %（10 Pa ~1000 Pa）
	±50 %（0.4 Pa ~3000 Pa）
工作溫度范圍	10~40°攝氏度
采樣時間	50ms 5 移動平均處理
測量值輸出	*非線性輸出：DC0-5V（大10V）**
	（更新時間） 50 ms
	（分辨率） 10 mV
設定值 1/2 調整輸出	*非線性輸出：DC 0-5V（大10V）**
控制輸出信號	集電極開路，負邏輯
	錯誤信號
	設定值 1/2
LED指示	電源，錯誤，設定值 1/2
電源電壓	DC24V±2V， 90mA（Max.）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6螺絲）
體重	190g（不含測量元件）
附屬品	1 組 I/O 連接器
附屬品	快速手冊（1份）

IO 和模擬 GND 以及電源 GND 不是隔離的。

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華東供應國內總代日本浙江總代ULVAC愛發科皮拉尼真空計SP1 國內各區域均有售

真空計

長處

用

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