國內(nèi)總代原裝進(jìn)口華東總代浙江總代日本ULVAC愛發(fā)科沉積電源 DC-20-D 國內(nèi)各區(qū)域均有售
它被設(shè)計(jì)為用于濺射的直流電源。 它是一種多功能且穩(wěn)定的電源，融合了包括應(yīng)用在內(nèi)的專有技術(shù)。 我們擁有各種特性的直流電源陣容。
它提供四種升級(jí)包（或單元）以滿足您的需求，并包括其他直流電源所沒有的獨(dú)特高性能功能。 這是一項(xiàng)新功能，可以解決客戶以前無法解決的工藝問題，并提高膜性能。
傳統(tǒng)上，直流電源的RAMP功能一般是放電后的輸出控制。 因此，我們專注于放電前的輸出控制。 通常，輸出是在放電后控制的，因此可能無法獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 通過這項(xiàng)新功能，通過在放電前控制輸出（點(diǎn)火操作），可以抑制放電開始時(shí)的瞬時(shí)高功率并實(shí)現(xiàn)放電穩(wěn)定。
對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器，設(shè)定輸出的保證值范圍在10~100%范圍內(nèi)，小于10%為非保修范圍，但對(duì)于添加此封裝的設(shè)備，保證值從1%開始保證。 此外，即使在上千次或幾萬次的重復(fù)過程中，輸出的變化也很小，可以保持高再現(xiàn)性。
輸出重復(fù)性（σ：0.74W）
當(dāng)直流電源檢測到異常放電時(shí)，它會(huì)暫時(shí)關(guān)閉輸出，但如果中斷時(shí)間過長，則可能無法恢復(fù)放電。 這種封裝功能可以*大限度地減少截止時(shí)間，便于放電維護(hù)，并穩(wěn)定過程。 此外，較短的截止時(shí)間可以預(yù)期縮短清洗沉積材料的預(yù)濺射時(shí)間。
使用典型的直流電源時(shí)，只能設(shè)置一種關(guān)斷模式。 但是，封鎖往往不適合當(dāng)時(shí)的情況，后續(xù)的沉積工藝效率可能會(huì)降低，或者可能會(huì)立即再次發(fā)生異常放電，并可能重復(fù)封鎖。 這項(xiàng)新功能有望通過確定直流電源本身對(duì)異常放電的*佳攔截來降低異常放電的復(fù)發(fā)概率，并提高沉積過程的效率。 這些功能可以單獨(dú)添加到單個(gè)直流電源中，也可以添加到可以添加到任意數(shù)量的封裝中。 以后也可以將其添加到已在使用的隨附電源中。
自動(dòng)確定ARC截止時(shí)間