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國內總代原裝進口華東總代日本ULVAC愛發科UNECS-1M高速橢偏儀 國內各區域均有售 

高速橢圓光譜儀UNECS系列

ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。 采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。 根據用途，我們有廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型和可以集成到設備中的內置型。

■高速測量 獨特的測量方法，沒有旋轉機構，可以以*大20ms的速度進行高速測量，并且可以在短時間內測量重復測量和
多點分布測量。

■ 除了標準型（530 nm-750 nm）外，波長范圍還增加了可見光譜型（380 nm-760 nm），應用范圍更廣。

■ 緊湊型傳感器單元發射光傳感器僅由一個光學元件組成，該元件沒有旋轉機構，非常輕巧緊湊，不需要定期維護。

■ 豐富的產品陣容能夠處理各種用途，包括獨特的便攜式類型、手動/自動載物臺類型、大型基板類型和
內置設備類型。

UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。

采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。

根據用途，我們提供廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式型到自動載物臺型以及支持真空環境的內置型設備。

UNECS系列是高速、高精度測量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨特的測量方法，實現高速測量和緊湊性。
根據用途，我們提供廣泛的產品陣容，從獨特的便攜式類型到自動載物臺類型和內置設備類型。

UNECS-1M 采用輕巧緊湊的傳感器單元，易于集成。

長處

• 高速測量：
• 獨特的快照方式，實現高速測量，*高速度可達20ms。
• 可見光譜支持：
• 波長范圍可選擇標準型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。
• 緊湊的傳感器單元：
• 發射光傳感器僅由一個光學元件組成，該元件沒有旋轉機構，非常輕巧緊湊，不需要定期維護。
• 豐富的產品陣容：
• 我們提供適用于各種用途的產品陣容，包括獨特的便攜式類型、手動和自動載物臺類型、大型電路板和內置設備
• 型。

• 用

• 透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蝕劑、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰減系數的測定

  規范

  波長范圍		530~750nm、380~760nm（任選）
  光斑直徑		Φ1mm、Φ0.3mm（任選）
  入射角		70°固定
  薄膜厚度再現性		1σ = 0.1納米
  厚度范圍		1納米~2微米
  測量時間		光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
  儀器配置		測量頭、控制箱、光源單元、使用說明書（CD）、分析軟件（CD） *控制PC不包括在規格中

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