創(chuàng)立于1952年日本，株式會社ULVAC為以**真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以先端技術(shù)應(yīng)用及精細(xì)加工工藝為追求的研究開發(fā)型綜合企業(yè)集團(tuán)，向國內(nèi)外客戶提供真空泵、真空配套產(chǎn)品、
愛發(fā)科為各種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，源源不斷的提供磁控濺射靶材等高規(guī)格電子材料。在高性能材料領(lǐng)域，提供鈦、鉭、鋯、鈮等材料的全套制造以及精密加工技術(shù)服務(wù)。
以"真空技術(shù)"為產(chǎn)業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)，開創(chuàng)美好未來。 在愛發(fā)科集團(tuán)的核心：株式會社愛發(fā)科中，規(guī)格品事業(yè)部開發(fā)·制造·銷售與真空技術(shù)相關(guān)的多種多樣的真空機(jī)器，除了用于"創(chuàng)造真空"的真空泵·閥門·配管部件和用于"看見真空"的真空計·工藝氣體監(jiān)控器·檢漏儀等測量儀器之外，還有在成膜工藝中用于"制膜"的成膜用電源，用于"觀察膜"的橢偏儀，用于"搬送晶圓"的真空搬送機(jī)械手等。 我們的產(chǎn)品不僅構(gòu)成真空設(shè)備，還成為支撐汽車、空調(diào)等家電、材料工程、醫(yī)療醫(yī)藥、生物技術(shù)等各種產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)。 事業(yè)內(nèi)容 從真空泵、計測儀器、成膜用電源、真空搬送機(jī)械手、各種分析儀到真空閥、法蘭、端子等各種構(gòu)成部件，開發(fā)、設(shè)計和制造多種多樣的真空機(jī)器。
大氣壓成分N2：78％ O2：21％ Ar：0.9％
?通常的高真空狀態(tài)下H2O和H2會比較多。
?可以根據(jù)N2(28) / O2(32) 的離子強(qiáng)度及其比例判斷泄漏是否存在。
?可以通過 M/e=39,41,43,55,57（CｘHｙ）判斷油成分的污染。
Ar Gas導(dǎo)入時（2）（Ar 400 sccm導(dǎo)入時，O2 2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm）