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KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自動(dòng)臺(tái)階儀:半導(dǎo)體銷售中心

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全自動(dòng)三次元微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(探針接觸式臺(tái)階儀) 株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,為日本**家發(fā)表表面粗
糙度計(jì)的廠商,株式會(huì)社小坂研究所KOSAKA具有悠久歷史與專業(yè)的技術(shù)背景。 公司主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為*具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。
株式會(huì)社小坂研究所KOSAKA于 1970 年首度推出 ET 系列膜后測(cè)量機(jī),面向半導(dǎo)體、面板、學(xué)校、科研等單位??供納米等級(jí)的高精度測(cè)量?jī)x器。并于 2004 年推出針對(duì)大型面板尺寸訂制的全自動(dòng)微 細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。

株式會(huì)社小坂研究所KOSAKA探針接觸式微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(表面輪廓臺(tái)階儀)




KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自動(dòng)臺(tái)階儀:半導(dǎo)體銷售中心臺(tái)階儀主機(jī)特點(diǎn):
l 一體花崗巖結(jié)構(gòu)330kg設(shè)備本體搭配直動(dòng)式傳感器,可實(shí)現(xiàn)**的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。 l 超高直線度保證,可確保量測(cè)圖形不受移動(dòng)軸影響,并可在保證直線度的前??下長(zhǎng)距離
量測(cè),同時(shí)解析表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力等。
l 采用超低噪音直動(dòng)式傳感器 LVDT(差動(dòng)變壓器),超低測(cè)定力的觸針可對(duì)應(yīng)各類型樣品
表面。
l 配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量,實(shí)時(shí)觀測(cè)測(cè)量過(guò)程。
l 中文化軟件除臺(tái)階分析外并具有粗糙度解析功能
l 適用于各種與微米、納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄
膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等的膜厚、臺(tái)階、段差測(cè)量。


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